導(dǎo)電粒子壓痕檢查解決方案

發(fā)布者： 發(fā)布時(shí)間：1970-01-01 分享：

產(chǎn)品配套

微分干涉顯微鏡組，藍(lán)光or綠光光源，vieorks 3K7CE120線掃描相機(jī)，激光位移傳感器。

行業(yè)背景

目前隨著LCD屏幕，OLED屏幕應(yīng)用愈加廣泛，對(duì)導(dǎo)電粒子缺陷檢查需求與日俱增。各大廠商急需成熟穩(wěn)定的AOI設(shè)備，

項(xiàng)目痛點(diǎn)

1、如何獲取導(dǎo)電粒子，清晰的立體感圖像。

2、實(shí)時(shí)對(duì)焦功能的實(shí)現(xiàn)

3、對(duì)掃描速度的追求

解決方法

（1）菲涅爾光學(xué)生產(chǎn)的微分干涉顯微鏡組，對(duì)直徑在0.7um-10um大小的導(dǎo)電粒子擁有非常優(yōu)秀的解析力與明暗對(duì)比效果。

10倍微分干涉顯微鏡組拍攝

5倍微分干涉顯微鏡組拍攝

（2）加外部激光位移傳感器，實(shí)時(shí)對(duì)焦功能。

（3）菲涅爾光學(xué)定制開發(fā)了高亮藍(lán)光光源，可以滿足高速掃描需求

上一篇：沒有了

下一篇：掩模版缺陷檢測解決方案